Фильтр МКФ-140

Назначение

Фильтр МКФ-140 предназначен для очистки технологических газов от высокодисперсных аэрозольных частиц, в том числе газов, применяемых в микроэлектронной промышленности.

Параметры фильтруемого газа

Давление на входе фильтра, атм (psi) - не более 10 (143);

температура, °С - от 5 до 50.

Рекомендуемый расход

От 9 нм³/ч (150 нл/мин) до 20 нм³/ч (330 нл/мин).

Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях: 6 атм (86 psi).

Степень очистки

Не менее 99,9999999 % для частиц размером более 0,01 мкм.

Чистота газа после фильтра

Концентрация частиц размером более 0,01 мкм - менее 0,03 частиц/литр;

Концентрация молекулярных примесей (воды, кислорода и других) - менее 10 ppb.

Локальная не герметичность корпуса

Не более 1·10^-3 л·Ч мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (10± 0.5) атм [(143± 7.1) psi] и температуре
(25±10) °С.

Применяемые материалы

Фильтрующий элемент - никель.

Корпус - нержавеющая сталь, в том числе марки 316L по требованию заказчика.

Обработка внутренних поверхностей корпуса

Электрохимическое полирование.

Чистота обработки 0,63 Ra (корпуса из стали марки 316L - 0,13 Ra).

Площадь фильтрующей поверхности

140 см².

Подготовка к работе

Сборка, подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100.

Упаковка

Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом.

Условия эксплуатации

Температура окружающего воздуха - от 5 до 40 °С;

относительная влажность - не более 90 %;

пространственная ориентация - произвольная.

Надежность

Рекомендуемая периодичность замены или регенерации - 2 года.

Примечание. Расход газа фильтра МКФ-140 указан при давлении 101,3 кПа и температуре 293,15 ° К.