|
Фильтр МКФ-40Назначение фильтра ФИЛЬТР МКФ-40 1 НАЗНАЧЕНИЕ Фильтр МКФ-40 предназначен для тонкой очистки воздуха и любых газов, химически инертных к материалу корпуса и фильтрующего элемента фильтра, от аэрозольных частиц. Условные обозначения:
40 - площадь поверхности фильтрующего элемента, см2.
1. Технические параметры и характеристики ибыточное давление на входе фильтра не более 1,0 МПа (10,0кгс/см2);
Примечание. Расход газа указан при давлении 101,3 кПа (760 мм рт. ст.) и температуре 293,15 °К (20 °С).
- фильтрующий элемент -никель; - корпус, штуцеры -нержавеющая сталь; - транспортные заглушки -фторопласт; - прокладки -никель. 5 3 КОМПЛЕКТОСТЬ
4 Габаритные и присоединительные размеры фильтра
5. УКАЗАНИЯ ПО ЭКСПЛУАТАЦИИ 5.1 Фильтр поставляется с предохранительными заглушками и герметично упакован в два полиэтиленовых пакета (чехла), заполненных очищенным воздухом, аргоном, или азотом. Вскрывать пакеты и удалять предохранительные заглушки допускается только в зоне эксплуатации непосредственно перед установкой фильтра в газовую линию. 5.2 При получении фильтра необходимо проверить комплектность и убедиться в отсутствии повреждений фильтрующего элемента (определяются встряхиванием фильтра) и видимых механических повреждений корпуса, упаковки фильтра и прокладок. 5.3 Условия эксплуатации фильтра: - температура окружающего воздуха, °С от 15 до 35; - относительная влажность, %, не более 80; - атмосферное давление, кПа (мм. рт. ст.) от 84 до 107 (от 630 до 800); - пространственная ориентация произвольная. 5.4 Перед установкой в газовую линию необходимо убедиться в возможности использования фильтра для очистки выбранного газа. Использование одного фильтра для очистки различных газов не допускается. 5.5 Тип и размеры штуцеров фильтра должны соответствовать применяемым в газовой линии. 5.6 Для предотвращения повреждений фильтрующего элемента и уплотняющих поверхностей штуцеров все работы с фильтром должны проводиться с осторожностью. 5.7 Порядок введения фильтра в эксплуатацию 5.7.1 Перекрыть подачу газа со стороны входа в заменяемый фильтр. 5.7.2 Сбросить давление внутри фильтра. 5.7.3 Отсоединить заменяемый фильтр. Примечание. Повторное применение прокладок не допускается. 5.7.4 Убедиться в отсутствии повреждений или сильного износа уплотняющих поверхностей подсоединительной арматуры. При необходимости заменить поврежденные или изношенные детали. 5.7.5 Вскрыть полиэтиленовые пакеты, достать фильтр и прокладки. 5.7.6 Снять предохранительные заглушки со штуцеров фильтра. Небольшое количество очищенного газа при этом может выйти наружу. 5.7.7 Немедленно установить фильтр в газовую линию. Стрелка на корпусе фильтра должна соответствовать направлению движения газового потока. 5.7.8 Проверить герметичность соединений в соответствии с методами, принятыми на предприятии. 5.7.9 Продуть линию в рабочем режиме в течение не менее 30 мин. 5.7.10 Зафиксировать дату установки фильтра. 6 ГАРАНТИИ ИЗГОТОВИТЕЛЯ 6.1 Гарантийный срок эксплуатации (время эксплуатации фильтра в газовой линии) - 2 года со дня первой установки фильтра в линию. 6.2 Гарантийная наработка (суммарное время работы фильтра в течение гарантийного срока эксплуатации) при расходе газа (1,0±0,1) м3/ч и при концентрации на входе не более 106× м-3 частиц размером не менее 0,01 мкм - 8500 часов. 6.3 Гарантийный срок хранения (время хранения фильтра в упаковке предприятия-изготовителя) - 10 лет со дня приемки фильтра ОТК. Примечание. Расход и объем газа указаны при давлении 101,3 кПа (760 мм рт. ст) и температуре 293,15 °К (20 °С). 7 КОМПЛЕКТ ПОДСОЕДИНИТЕЛЬНОЙ АРМАТУРЫ ДЛЯ УСТАНОВКИ ФИЛЬТРА В ГАЗОВУЮ ЛИНИЮ (КОМПЛЕКТ ПРИНАДЛЕЖНОСТЕЙ) 7.1 Состав комплекта:
7.2 Присоединительные размеры ниппеля:
Параметры фильтруемого газа Давление на входе фильтра, атм (psi) - не более 10 (143); температура, °С - от 5 до 50. Рекомендуемый расход От 3 нм3/ч (50 нл/мин) до 9 нм3/ч (150 нл/мин). Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях 6 атм (86 psi). Степень очистки фильтра Не менее 99,9999999 % для частиц размером более 0,01 мкм. Чистота газа после фильтра Концентрация частиц размером более 0,01 мкм - менее 0,03 частиц/литр; концентрация молекулярных примесей(воды, кислорода и других) - менее 10 ppb. Локальная негерметичность корпуса МКФ-40 Не более 1· 10-3 л·Ч мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (10±0,5) атм [(143±7.1) psi] и температуре Применяемые материал Фильтрующий элемент - никель. Корпус - нержавеющая сталь, в том числе марки 316L по требованию заказчика. Обработка внутренних поверхностей корпуса Электрохимическое полирование. Чистота обработки 0,63 Ra (корпуса из стали марки 316L - 0,13 Ra). Площадь фильтрующей поверхности 40 см2. Подготовка к работе фильтра МКФ-40 Сборка, подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100. Упаковка Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом. Условия эксплуатации Температура окружающего воздуха - от 5 до 40 ° С; относительная влажность - не более 90 %; пространственная ориентация - произвольная. Надежность Рекомендуемая периодичность замены или регенерации - 2 года. Примечание. Расход газа указан при давлении 101,3 кПа и температуре 293,15 °К. |

Неразборный фильтр предназначен для очистки технологических газов от высокодисперсных аэрозольных частиц, в том числе газов, применяемых в микроэлектронной промышленности.