Фильтр МКФ-40

Назначение фильтра

ФИЛЬТР МКФ-40

1 НАЗНАЧЕНИЕ

Фильтр МКФ-40 предназначен для тонкой очистки воздуха и любых газов, химически инертных к материалу корпуса и фильтрующего элемента фильтра, от аэрозольных частиц.

Условные обозначения:

  • МКФ - металлокерамический фильтр;
  • 40 - площадь поверхности фильтрующего элемента, см2.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
  •  
    •  
      1. Фильтруемые газы: воздух и любые газы, химически инертные к материалу корпуса и фильтрующего элемента фильтра.
    • 2. Параметры фильтруемого газа:
  • 1. Технические параметры и характеристики

    ибыточное давление на входе фильтра не более 1,0 МПа (10,0кгс/см2);

  • температура от 5 до 150 ° С;
  • относительная влажность не более 80%;
  1.  
      1. Эффективность фильтра при очистке газа от частиц размером ≥ 0,01 мкм и расходе 8,4·10-2м3/ч (1,4 л/мин) не менее 99,99999 %.
      2. Перепад давлений на фильтре при расходе газа (1,0±0,1) м3/ч не более 0,02МПа (0,20 кгс/см2).
      3. Зависимость расхода газа Q, м3/ч от перепада давлений на фильтре D P, кгс/см2 и абсолютного давления на входе фильтра Рвх, кгс/см2, определяется по формуле

        Q=[3,63+6,62х(Рвх-D Р/2]хD Р

      4. Локальная негерметичность при избыточном внутреннем давлении гелия ТУ51-940-80 (1.00±0.05) МПа [(10,0±0,5) кгс/см2] и температуре (25±10) С, не более 1× 10-3л× мкм рт.ст./c

Примечание. Расход газа указан при давлении 101,3 кПа (760 мм рт. ст.) и температуре 293,15 °К (20 °С).

  1.  
    1. Применяемые материалы:

- фильтрующий элемент -никель;

- корпус, штуцеры -нержавеющая сталь;

- транспортные заглушки -фторопласт;

- прокладки -никель.

5

3 КОМПЛЕКТОСТЬ

Фильтр

- 1 шт.

Транспортная заглушка

- 2 шт.

Паспорт

- 1 шт.

Упаковка

- 1 шт.

   
   

4 Габаритные и присоединительные размеры фильтра

5. УКАЗАНИЯ ПО ЭКСПЛУАТАЦИИ

5.1 Фильтр поставляется с предохранительными заглушками и герметично упакован в два полиэтиленовых пакета (чехла), заполненных очищенным воздухом, аргоном, или азотом. Вскрывать пакеты и удалять предохранительные заглушки допускается только в зоне эксплуатации непосредственно перед установкой фильтра в газовую линию.

5.2 При получении фильтра необходимо проверить комплектность и убедиться в отсутствии повреждений фильтрующего элемента (определяются встряхиванием фильтра) и видимых механических повреждений корпуса, упаковки фильтра и прокладок.

5.3 Условия эксплуатации фильтра:

- температура окружающего воздуха, °С от 15 до 35;

- относительная влажность, %, не более 80;

- атмосферное давление, кПа (мм. рт. ст.) от 84 до 107 (от 630 до 800);

- пространственная ориентация произвольная.

5.4 Перед установкой в газовую линию необходимо убедиться в возможности использования фильтра для очистки выбранного газа. Использование одного фильтра для очистки различных газов не допускается.

5.5 Тип и размеры штуцеров фильтра должны соответствовать применяемым в газовой линии.

5.6 Для предотвращения повреждений фильтрующего элемента и уплотняющих поверхностей штуцеров все работы с фильтром должны проводиться с осторожностью.

5.7 Порядок введения фильтра в эксплуатацию

5.7.1 Перекрыть подачу газа со стороны входа в заменяемый фильтр.

5.7.2 Сбросить давление внутри фильтра.

5.7.3 Отсоединить заменяемый фильтр.

Примечание. Повторное применение прокладок не допускается.

5.7.4 Убедиться в отсутствии повреждений или сильного износа уплотняющих поверхностей подсоединительной арматуры. При необходимости заменить поврежденные или изношенные детали.

5.7.5 Вскрыть полиэтиленовые пакеты, достать фильтр и прокладки.

5.7.6 Снять предохранительные заглушки со штуцеров фильтра. Небольшое количество очищенного газа при этом может выйти наружу.

5.7.7 Немедленно установить фильтр в газовую линию.

Стрелка на корпусе фильтра должна соответствовать направлению движения газового потока.

5.7.8 Проверить герметичность соединений в соответствии с методами, принятыми на предприятии.

5.7.9 Продуть линию в рабочем режиме в течение не менее 30 мин.

5.7.10 Зафиксировать дату установки фильтра.

6 ГАРАНТИИ ИЗГОТОВИТЕЛЯ

6.1 Гарантийный срок эксплуатации (время эксплуатации фильтра в газовой линии) - 2 года со дня первой установки фильтра в линию.

6.2 Гарантийная наработка (суммарное время работы фильтра в течение гарантийного срока эксплуатации) при расходе газа (1,0±0,1) м3/ч и при концентрации на входе не более 106× м-3 частиц размером не менее 0,01 мкм - 8500 часов.

6.3 Гарантийный срок хранения (время хранения фильтра в упаковке предприятия-изготовителя) - 10 лет со дня приемки фильтра ОТК.

Примечание. Расход и объем газа указаны при давлении 101,3 кПа (760 мм рт. ст) и температуре 293,15 °К (20 °С).

7 КОМПЛЕКТ ПОДСОЕДИНИТЕЛЬНОЙ АРМАТУРЫ ДЛЯ УСТАНОВКИ ФИЛЬТРА В ГАЗОВУЮ ЛИНИЮ (КОМПЛЕКТ ПРИНАДЛЕЖНОСТЕЙ)

7.1 Состав комплекта:

Ниппель

- 2 шт.

Гайка

- 2 шт.

Прокладка

- 10 шт.

7.2 Присоединительные размеры ниппеля:

Обозначение

Подсоединительные размеры ниппеля

УФАИ.067715.001

Труба 8х1, Dвнутр. = 6,00 мм

УФАИ.067715.002

Труба 1/4 ", Dвнутр. = 4,56 мм

УФАИ.067715.004

Труба 12х1, Dвнутр. = 10 мм

УФАИ.067715.005

Труба 3/8", Dвнутр. = 7,73 мм

УФАИ.067715.006

Труба 1/2", Dвнутр. = 10,20 мм

Неразборный фильтр предназначен для очистки технологических газов от высокодисперсных аэрозольных частиц, в том числе газов, применяемых в микроэлектронной промышленности.

Параметры фильтруемого газа

Давление на входе фильтра, атм (psi) - не более 10 (143);

температура, °С - от 5 до 50.

Рекомендуемый расход

От 3 нм3/ч (50 нл/мин) до 9 нм3/ч (150 нл/мин).

Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях

6 атм (86 psi).

Степень очистки фильтра

Не менее 99,9999999 % для частиц размером более 0,01 мкм.

Чистота газа после фильтра

Концентрация частиц размером более 0,01 мкм - менее 0,03 частиц/литр;

концентрация молекулярных примесей(воды, кислорода и других) - менее 10 ppb.

Локальная негерметичность корпуса МКФ-40

Не более 1· 10-3 л·Ч мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (10±0,5) атм [(143±7.1) psi] и температуре
(25±10) °С.

Применяемые материал

Фильтрующий элемент - никель.

Корпус - нержавеющая сталь, в том числе марки 316L по требованию заказчика.

Обработка внутренних поверхностей корпуса

Электрохимическое полирование.

Чистота обработки 0,63 Ra (корпуса из стали марки 316L - 0,13 Ra).

Площадь фильтрующей поверхности 40 см2.

Подготовка к работе фильтра МКФ-40

Сборка, подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100.

Упаковка

Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом.

Условия эксплуатации

Температура окружающего воздуха - от 5 до 40 ° С;

относительная влажность - не более 90 %;

пространственная ориентация - произвольная.

Надежность

Рекомендуемая периодичность замены или регенерации - 2 года.

Примечание. Расход газа указан при давлении 101,3 кПа и температуре 293,15 °К.