Фильтр МКФ-10

Назначение

Фильтр МКФ-10 предназначен для сверхтонкой очистки технологических газов от от мелкодисперсных аэрозолей и частиц в микроэлектронной промышленности.

Параметры фильтруемого газа:

Давление на входе фильтра, атм. (psi) - не более 10 (143),

Температура, °С - от 5 до 50.

Рекомендуемый расход газа: до 3 нм3/ч (50 нл/мин).

Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях: 6 атм. (86 psi).

Эффективность очистки газа от механических частиц: не менее 99,99999 % для частиц размером более 0,01 мкм.

Чистота газа после фильтра:

Концентрация частиц размером более 0,01 мкм - менее 0,03 частиц/литр.

Концентрация молекулярных примесей (воды, кислорода и других) - менее 10 ppb.

Локальная негерметичность корпуса: не более 1·10-3 л·Ч мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (10±0,5) атм. [(143±7,1) psi] и температуре
(25±10) °С.

Обработка внутренних поверхностей корпуса

Электрохимическое полирование.

Чистота обработки 0,63 Ra (корпуса из стали марки 316L - 0,13 Ra).

 Площадь фильтрующей поверхности

10 см2

Подготовка к работе

Сборка, подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100.

Упаковка

Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом.

Условия эксплуатации фильтра:

Температура окружающего воздуха - от 5 до 40 °С.

Относительная влажность - не более 90 %.

Пространственная ориентация - произвольная.

Надежность

Рекомендуемая периодичность замены или регенерации фильтра МКФ-10 - 2 года.

Примечание. Расход газа указан при давлении 101,3 кПа и температуре 293,15 °К.